Тестер полупроводниковых пластин Инфраспек ФСМ 1201П

Тестер полупроводниковых пластин Инфраспек «ФСМ 1201П»

Тестер полупроводниковых пластин Инфраспек «ФСМ 1201П», созданный на основе ИК-фурье-спектрометра, является эффективным инструментом неразрушающего контроля качества полупроводниковых пластин и структур.

Максимальный размер пластин: 200 мм.

Точность позиционирования стола: 0,5 мм.

Тестер «ФСМ 1201П» проводит автоматическое измерение плоскопараллельных полированных пластин кремния диаметром 76, 100, 125, 150 и 200 мм, размещаемых на измерительном столе. Время стандартного измерения в одной точке не более 20 с.

Основные контролируемые параметры

• Концентрация междоузельного кислорода (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах (5×10¹⁵...2×10¹⁸) ±5×10¹⁵ см^-3 (SEMI MF1188).
• Концентрация углерода замещения (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах: (10¹⁶...5×10¹⁷) ±10¹⁶ см^-3 (SEMI MF1391).
• Радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах (SEMI MF951).
• Толщина эпитаксиальных слоёв кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах (0,5-10,0) ±0,1 мкм, (10-200) ±1% мкм (SEMI MF95).
• Толщина эпитаксиальных слоёв кремния в структурах КНС в пределах (0,1-10,0) ±1% мкм.
• Концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах (1-10) ±0,2 % вес.

Линейность фотоприёмной системы (уровень псевдорассеянного света): не более ±0,25 %.

Диаметр ИК-пучка в плоскости образца: 6 мм.

Светоделитель сделан из KBr с покрытием на основе Ge, источник излечения из высокотемпературной керамики. Детектор — пироприемник LiTaO₃.

Как проводятся измерения

Прибор снабжён двумя отдельными приёмниками ИК-излучения: один для канала пропускания, второй — для канала отражения. Это позволяет измерять пропускание и отражение для одной и той же точки пластины путем электронной коммутации, без каких-либо механических переключений оптической схемы.

Пластина располагается горизонтально на специальном измерительном столе, имеющем двухкоординатный привод. Измерительный стол с пластиной размещается за пределами герметичного объема камеры в специальном «кармане». Соответствующий зазор «кармана» обеспечивает минимизацию погрешности, связанной с наличием ИК-поглощения в атмосфере.

Управление тестером «ФСМ 1201П» осуществляется с помощью программы SemiSpec, разработанной специалистами компании «Инфраспек». Программа обеспечивает получение интерферограмм и преобразование их в спектр, первичную обработку, представление спектра на экране монитора, его сохранение и печать, управление измерительным столом, реализацию методик контроля параметров полупроводниковых пластин, генерацию отчётов и ведение базы данных, а также тестирование и настройку ИК-фурье-спектрометра.

Преимущества Инфраспек «ФСМ 1201П»

• Высокая чувствительность: рекордное по сравнению с обычными ИК-спектрометрами отношение сигнал/шум позволяет на порядок снизить порог чувствительности и повысить точность измерений.
• Высокая производительность: время получения спектра при стандартных требованиях к разрешению и фотометрической точности не превышает 20 с, что позволяет проводить сплошной контроль пластин в производстве, а также исследовать неоднородность по площади.
• Бесконтактность: в процессе измерений поверхность пластины не подвергается механическим воздействиям.
• Автоматизация измерений: процесс получения спектров, их обработка и контроль за перемещением пластины полностью автоматизированы. Маршрут перемещения выбирается из стандартных конфигураций (1, 5 и 9 точек) или программируется оператором. Результаты измерений автоматически протоколируются и заносятся в базу данных.

Применение тестера Инфраспек «ФСМ 1201П»

«ФСМ 1201П» — это эффективный инструмент неразрушающего контроля качества полупроводниковых пластин и структур. Может применяться как в научно-исследовательских лабораториях, так и в лабораториях контроля.

Документы